E84 監(jiān)控系統(tǒng)（E84 Monitoring System）
EMS 系統(tǒng)框圖（EMS Block Diagram）

GCI 的 E84 PI/O 監(jiān)控系統(tǒng)（EMS）可同時對兩個至四個 300mm 裝載口的 E84 PI/O 信號轉(zhuǎn)換進(jìn)行實時監(jiān)控與存儲。

在晶圓廠（FAB）中，所有物料的交接過程都由 E84 握手協(xié)議控制。確定物料交接失敗的原因及其修復(fù)方法，是 FAB 中最耗時且成本高昂的故障排查任務(wù)之一。對 E84 控制信號的詳細(xì)分析對于查明交接失敗的根本原因至關(guān)重要。

GCI EMS 系統(tǒng)可根據(jù)配置，對兩個至四個裝載口的 E84 信號狀態(tài)進(jìn)行持續(xù)顯示與記錄。記錄的數(shù)據(jù)按日期存儲為日志文件，便于查找特定的交接記錄。強(qiáng)大的搜索功能允許操作員在指定時間范圍內(nèi)快速列出某一裝載口的所有失敗交接記錄。

系統(tǒng)功能

• 實時顯示兩個至四個裝載口的 E84 信號轉(zhuǎn)換狀態(tài)

• 將 E84 信號轉(zhuǎn)換記錄保存為每日日志文件

• 功能強(qiáng)大的日志搜索工具，可查找特定 E84 交接序列的時序信息

• 可對每次交接序列進(jìn)行詳細(xì)時序分析，并顯示區(qū)域總結(jié)（Zone Summary）

• 日志文件回放分析模式

• 錯誤分析模式，用于在日志中定位失敗的交接序列

• 測量時間間隔分析工具

• 縮放顯示分析工具

• 圖形界面可導(dǎo)出為 Windows 位圖格式

• 記錄數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為表格文本格式

• 當(dāng) PC 通信中斷時，E84 事件仍會記錄在 DLD（數(shù)據(jù)記錄設(shè)備）中由電池供電的 RAM 中

EMS 實時顯示界面

可實時查看 E84 信號轉(zhuǎn)換狀態(tài)。默認(rèn) EMS 界面顯示兩個至四個裝載口的所有 E84 信號電平。系統(tǒng)還可設(shè)置在某裝載口不再可用于交接（HO_AVBL 信號關(guān)閉）時自動暫停實時顯示。

EMS 搜索窗口

通過“日志搜索”功能查找特定的 E84 交接記錄。可按日期與時間范圍、指定裝載口、交接類型（成功或失敗）進(jìn)行篩選，并顯示符合條件的 E84 交接記錄列表。選擇某條交接記錄后，點(diǎn)擊“詳細(xì)信息”按鈕可進(jìn)入詳細(xì)交接狀態(tài)顯示界面（如下）。

EMS 詳細(xì)狀態(tài)圖

通過“日志搜索”功能選擇某一 E84 交接序列后，系統(tǒng)將顯示其完整的時序信息。界面中可查看所有與該交接相關(guān)的 E84 事件，并在時序圖上標(biāo)出 E84-0304 標(biāo)準(zhǔn)中定義的各個邊界區(qū)域（Boundary Zones）。界面右側(cè)提供邊界區(qū)域摘要（Zone Summary），包括每個區(qū)域的起始時間戳與持續(xù)時間。此外，還可使用“采樣測量”工具進(jìn)行進(jìn)一步時序分析。

系統(tǒng)組件

• 一臺預(yù)裝并配置好 E84 監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件的 Windows XP 專業(yè)版筆記本電腦

• 每個配置的裝載口（共 2~4 個）配備以下設(shè)備：

  • 一臺 GCI 數(shù)據(jù)記錄設(shè)備（DLD，型號 P/N GCI06001）

  • 一根 5 米 GCI E84 光學(xué)收發(fā)器（型號 P/N GCI04002-5m）

  • 一根 15 英尺 9 針串口通信線纜（型號 P/N GC72802015）

  • 一根 USB 轉(zhuǎn)串口轉(zhuǎn)換線（型號 P/N SW-1301）

  • 一根 PC 防盜鋼纜（型號 P/N 2900-95）

  • 一只 USB 鼠標(biāo)（型號 X800898）

  • 一份打印版用戶手冊

  • 一張安裝軟件備份光盤（CD-ROM）

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