Get Control 三軸加速度計測試工具（Vib Tool),GCI三軸加速度計

 

三軸加速度計測試工具（Vib Tool）

安裝在FOUP中的加速度計測試工具
AMHS和輸送設備制造商在系統開發、安裝和維護過程中，利用三軸加速度計測試工具來量化和評估振動特性。這款行業標準工具被200mm和300mm晶圓廠廣泛用于測量物料搬運系統對晶圓批次產生的振動。通過及早發現軌道對準偏差的跡象，系統可以得到及時維護，從而最大限度地減少對晶圓批次造成的振動。三軸加速度計測試工具可作為獨立設備使用，也可與GCI信息中心配套使用，由AMHS小車提供位置數據，實現自動記錄。

GCI的三軸加速度計測試工具為AMHS供應商和終端用戶提供精確的振動測量解決方案。該工具可在自動或手動運輸過程中，同時獲取并記錄X、Y、Z三個軸向的振動數據。

產品特點：

  • 獨立供電與自包含設計：
    三軸加速度計測試工具由電池供電，具有獨立完整的系統設計。標配適配板可將工具牢固地安裝在300mm FOUP內部。對于200mm應用，可選購安裝板，將工具牢固安裝在200mm晶圓盒中。LCD顯示屏與鍵盤可用于參數配置。

  • 板載數據簡化處理：
    工具以每軸每秒512個數據點的速率進行實時板載數據簡化處理。提供多種數據簡化選項，包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。使用快速傅里葉變換（FFT），每半秒進行一次簡化，生成每種類型每軸每秒兩個簡化數據點。記錄時長取決于簡化類型（最大可達2至6小時）。

  • 數據存儲與上傳：
    簡化數據存儲在內部SD卡中，可存儲多個記錄會話，在上傳至PC進行分析前進行本地保存。配有一個RS-232端口，可通過GCI的InfoCenter桌面應用程序上傳數據。

時間域記錄選項
三軸加速度計測試工具可選配“時間域記錄”功能，將時間域數據記錄到安全數字（SD）存儲卡中。開啟此功能后，工具會以每秒每軸512個數據點的速率將時間域數據直接寫入SD卡。記錄容量受SD卡剩余空間限制，最長可達6小時。數據簡化處理在PC端完成，使用GCI的VibPlot或InfoCenter桌面應用程序進行分析。

VibPlot分析軟件
VibPlot提供對記錄的時間域數據進行頻率分析的工具。它不僅復制了設備本身的數據簡化處理功能，還增加了如三維瀑布圖和彩色頻譜圖等附加分析功能。軟件可顯示時間域數據，同時繪制RMS、峰值、真RMS及每0.5秒的FFT結果圖。

InfoCenter桌面應用程序
InfoCenter桌面應用程序提供與VibPlot相同的分析工具，是一款更新版本的軟件，同時支持上傳與顯示設備本身的簡化數據。

技術規格概覽：

  • 測量軸向：X、Y、Z三軸

  • 測量頻率范圍：直流至150Hz

  • 振動測量范圍：0.03g至2.00g（精度±0.01g）

  • 電池與充電：

    • 可充電LIMH電池組

    • 先進的電池充電電路

    • 鋰電池支持靜態RAM備份（最長達10年）

    • 低電量檢測與警告指示

  • 數據分析類型：

    • RMS

    • 峰值

    • RMS與峰值

    • RMS、峰值與頻率

    • RMS、峰值、頻率、真RMS和N值

  • 用戶界面：

    • 2行16字符LCD顯示

    • 4鍵按鍵板

  • Flash PROM：

    • 存儲系統固件，可通過GCI提供的固件文件輕松升級

  • 內部microSD卡：

    • 存儲多個記錄會話（數量取決于記錄時長），每個會話帶時間戳

  • RS-232接口：

    • 用于將記錄數據下載至主機PC的RS-232通信端口

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