Get Control 三軸加速度計(jì)測試工具（Vib Tool),GCI三軸加速度計(jì)

 

三軸加速度計(jì)測試工具（Vib Tool）

安裝在FOUP中的加速度計(jì)測試工具
AMHS和輸送設(shè)備制造商在系統(tǒng)開發(fā)、安裝和維護(hù)過程中，利用三軸加速度計(jì)測試工具來量化和評估振動(dòng)特性。這款行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具被200mm和300mm晶圓廠廣泛用于測量物料搬運(yùn)系統(tǒng)對晶圓批次產(chǎn)生的振動(dòng)。通過及早發(fā)現(xiàn)軌道對準(zhǔn)偏差的跡象，系統(tǒng)可以得到及時(shí)維護(hù)，從而最大限度地減少對晶圓批次造成的振動(dòng)。三軸加速度計(jì)測試工具可作為獨(dú)立設(shè)備使用，也可與GCI信息中心配套使用，由AMHS小車提供位置數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)記錄。

GCI的三軸加速度計(jì)測試工具為AMHS供應(yīng)商和終端用戶提供精確的振動(dòng)測量解決方案。該工具可在自動(dòng)或手動(dòng)運(yùn)輸過程中，同時(shí)獲取并記錄X、Y、Z三個(gè)軸向的振動(dòng)數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 獨(dú)立供電與自包含設(shè)計(jì)：
    三軸加速度計(jì)測試工具由電池供電，具有獨(dú)立完整的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。標(biāo)配適配板可將工具牢固地安裝在300mm FOUP內(nèi)部。對于200mm應(yīng)用，可選購安裝板，將工具牢固安裝在200mm晶圓盒中。LCD顯示屏與鍵盤可用于參數(shù)配置。

  • 板載數(shù)據(jù)簡化處理：
    工具以每軸每秒512個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的速率進(jìn)行實(shí)時(shí)板載數(shù)據(jù)簡化處理。提供多種數(shù)據(jù)簡化選項(xiàng)，包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。使用快速傅里葉變換（FFT），每半秒進(jìn)行一次簡化，生成每種類型每軸每秒兩個(gè)簡化數(shù)據(jù)點(diǎn)。記錄時(shí)長取決于簡化類型（最大可達(dá)2至6小時(shí)）。

  • 數(shù)據(jù)存儲與上傳：
    簡化數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部SD卡中，可存儲多個(gè)記錄會(huì)話，在上傳至PC進(jìn)行分析前進(jìn)行本地保存。配有一個(gè)RS-232端口，可通過GCI的InfoCenter桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)。

時(shí)間域記錄選項(xiàng)
三軸加速度計(jì)測試工具可選配“時(shí)間域記錄”功能，將時(shí)間域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字（SD）存儲卡中。開啟此功能后，工具會(huì)以每秒每軸512個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的速率將時(shí)間域數(shù)據(jù)直接寫入SD卡。記錄容量受SD卡剩余空間限制，最長可達(dá)6小時(shí)。數(shù)據(jù)簡化處理在PC端完成，使用GCI的VibPlot或InfoCenter桌面應(yīng)用程序進(jìn)行分析。

VibPlot分析軟件
VibPlot提供對記錄的時(shí)間域數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析的工具。它不僅復(fù)制了設(shè)備本身的數(shù)據(jù)簡化處理功能，還增加了如三維瀑布圖和彩色頻譜圖等附加分析功能。軟件可顯示時(shí)間域數(shù)據(jù)，同時(shí)繪制RMS、峰值、真RMS及每0.5秒的FFT結(jié)果圖。

InfoCenter桌面應(yīng)用程序
InfoCenter桌面應(yīng)用程序提供與VibPlot相同的分析工具，是一款更新版本的軟件，同時(shí)支持上傳與顯示設(shè)備本身的簡化數(shù)據(jù)。

技術(shù)規(guī)格概覽：

  • 測量軸向：X、Y、Z三軸

  • 測量頻率范圍：直流至150Hz

  • 振動(dòng)測量范圍：0.03g至2.00g（精度±0.01g）

  • 電池與充電：

    • 可充電LIMH電池組

    • 先進(jìn)的電池充電電路

    • 鋰電池支持靜態(tài)RAM備份（最長達(dá)10年）

    • 低電量檢測與警告指示

  • 數(shù)據(jù)分析類型：

    • RMS

    • 峰值

    • RMS與峰值

    • RMS、峰值與頻率

    • RMS、峰值、頻率、真RMS和N值

  • 用戶界面：

    • 2行16字符LCD顯示

    • 4鍵按鍵板

  • Flash PROM：

    • 存儲系統(tǒng)固件，可通過GCI提供的固件文件輕松升級

  • 內(nèi)部microSD卡：

    • 存儲多個(gè)記錄會(huì)話（數(shù)量取決于記錄時(shí)長），每個(gè)會(huì)話帶時(shí)間戳

  • RS-232接口：

    • 用于將記錄數(shù)據(jù)下載至主機(jī)PC的RS-232通信端口

http://ydzhly.com/getcontrolinc/Get Control 三軸加速度計(jì)測試工具（Vib Tool),GCI三軸加速度計(jì)/