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E84 監控系統（E84 Monitoring System）
EMS 系統框圖（EMS Block Diagram）

GCI 的 E84 PI/O 監控系統（EMS）可同時對兩個至四個 300mm 裝載口的 E84 PI/O 信號轉換進行實時監控與存儲。

在晶圓廠（FAB）中，所有物料的交接過程都由 E84 握手協議控制。確定物料交接失敗的原因及其修復方法，是 FAB 中最耗時且成本高昂的故障排查任務之一。對 E84 控制信號的詳細分析對于查明交接失敗的根本原因至關重要。

GCI EMS 系統可根據配置，對兩個至四個裝載口的 E84 信號狀態進行持續顯示與記錄。記錄的數據按日期存儲為日志文件，便于查找特定的交接記錄。強大的搜索功能允許操作員在指定時間范圍內快速列出某一裝載口的所有失敗交接記錄。

系統功能

  • 實時顯示兩個至四個裝載口的 E84 信號轉換狀態

  • 將 E84 信號轉換記錄保存為每日日志文件

  • 功能強大的日志搜索工具，可查找特定 E84 交接序列的時序信息

  • 可對每次交接序列進行詳細時序分析，并顯示區域總結（Zone Summary）

  • 日志文件回放分析模式

  • 錯誤分析模式，用于在日志中定位失敗的交接序列

  • 測量時間間隔分析工具

  • 縮放顯示分析工具

  • 圖形界面可導出為 Windows 位圖格式

  • 記錄數據可導出為表格文本格式

  • 當 PC 通信中斷時，E84 事件仍會記錄在 DLD（數據記錄設備）中由電池供電的 RAM 中

EMS 實時顯示界面

可實時查看 E84 信號轉換狀態。默認 EMS 界面顯示兩個至四個裝載口的所有 E84 信號電平。系統還可設置在某裝載口不再可用于交接（HO_AVBL 信號關閉）時自動暫停實時顯示。

EMS 搜索窗口

通過“日志搜索”功能查找特定的 E84 交接記錄。可按日期與時間范圍、指定裝載口、交接類型（成功或失敗）進行篩選，并顯示符合條件的 E84 交接記錄列表。選擇某條交接記錄后，點擊“詳細信息”按鈕可進入詳細交接狀態顯示界面（如下）。

EMS 詳細狀態圖

通過“日志搜索”功能選擇某一 E84 交接序列后，系統將顯示其完整的時序信息。界面中可查看所有與該交接相關的 E84 事件，并在時序圖上標出 E84-0304 標準中定義的各個邊界區域（Boundary Zones）。界面右側提供邊界區域摘要（Zone Summary），包括每個區域的起始時間戳與持續時間。此外，還可使用“采樣測量”工具進行進一步時序分析。

系統組件

  • 一臺預裝并配置好 E84 監控系統應用軟件的 Windows XP 專業版筆記本電腦

  • 每個配置的裝載口（共 2~4 個）配備以下設備：

    • 一臺 GCI 數據記錄設備（DLD，型號 P/N GCI06001）

    • 一根 5 米 GCI E84 光學收發器（型號 P/N GCI04002-5m）

    • 一根 15 英尺 9 針串口通信線纜（型號 P/N GC72802015）

    • 一根 USB 轉串口轉換線（型號 P/N SW-1301）

    • 一根 PC 防盜鋼纜（型號 P/N 2900-95）

    • 一只 USB 鼠標（型號 X800898）

    • 一份打印版用戶手冊

    • 一張安裝軟件備份光盤（CD-ROM）

 

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