Model 511紫外線光強分析儀
產品特點
- 自動化測量與計算：自動記錄并顯示光強（mw/cm2）和能量（mj/cm2）數據，替代傳統手動記錄
- 實時數據傳輸：支持計算機接口，測量數據可實時導出
- 雙顯示模式：
- 數值模式：直接顯示曝光面各點的實際測量值
- 柱狀圖模式：直觀呈現曝光平面的光強分布差異
- 高精度校準：NIST可溯源精度±3%（3σ標準），動態范圍內線性誤差＜1%
- 余弦校正探頭：確保廣角入射光測量準確性
技術規格
| 參數 | 指標 |
|---|---|
| 測量范圍 | 強度：1.0~250.0 mw/cm2 能量：1.0~250.0 mj/cm2 |
| 顯示數據 | 平均值、均勻度（%）、最大值/中值/最小值 |
| 波長選項 | 標配365nm、400nm、420nm （其他波長可定制） |
| 探頭類型 | 4英寸圓形（9傳感器陣列） 6英寸圓形（11傳感器陣列） 佳能光刻專用6英寸弧形陣列（11傳感器） |
| 電源 | 全球通用充電器（90-240V AC，47-63Hz，UL/CE/TUV認證） |
| 顯示屏 | 背光LCD，強光下清晰可視 |
應用場景
1. UV固化 & 大面積曝光檢測
- 4英寸/6英寸圓形探頭：
- 9或11傳感器矩陣掃描，快速評估曝光均勻性
- 自動生成?平均值、偏差率、極值?數據
2. 佳能光刻系統配套
- 6英寸弧形探頭：
- 11傳感器弧形排列，適配步進式光刻機曝光面分析
操作優勢
- 一鍵數據回溯：通過單鍵切換屏幕模式，快速對比不同測量結果
- 標準化報告：直接導出?均勻度%、3σ標準差?等關鍵參數，減少人工計算
物理參數
- 外殼材質：鋁合金（防震防干擾）
- 探頭線長：標準1.5米（可延長至3米）.
