Model 511紫外線光強(qiáng)分析儀
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 自動(dòng)化測(cè)量與計(jì)算：自動(dòng)記錄并顯示光強(qiáng)（mw/cm2）和能量（mj/cm2）數(shù)據(jù)，替代傳統(tǒng)手動(dòng)記錄
- 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸：支持計(jì)算機(jī)接口，測(cè)量數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)導(dǎo)出
- 雙顯示模式：
- 數(shù)值模式：直接顯示曝光面各點(diǎn)的實(shí)際測(cè)量值
- 柱狀圖模式：直觀呈現(xiàn)曝光平面的光強(qiáng)分布差異
- 高精度校準(zhǔn)：NIST可溯源精度±3%（3σ標(biāo)準(zhǔn)），動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)線性誤差＜1%
- 余弦校正探頭：確保廣角入射光測(cè)量準(zhǔn)確性
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 指標(biāo) |
|---|---|
| 測(cè)量范圍 | 強(qiáng)度：1.0~250.0 mw/cm2 能量：1.0~250.0 mj/cm2 |
| 顯示數(shù)據(jù) | 平均值、均勻度（%）、最大值/中值/最小值 |
| 波長(zhǎng)選項(xiàng) | 標(biāo)配365nm、400nm、420nm （其他波長(zhǎng)可定制） |
| 探頭類型 | 4英寸圓形（9傳感器陣列） 6英寸圓形（11傳感器陣列） 佳能光刻專用6英寸弧形陣列（11傳感器） |
| 電源 | 全球通用充電器（90-240V AC，47-63Hz，UL/CE/TUV認(rèn)證） |
| 顯示屏 | 背光LCD，強(qiáng)光下清晰可視 |
應(yīng)用場(chǎng)景
1. UV固化 & 大面積曝光檢測(cè)
- 4英寸/6英寸圓形探頭：
- 9或11傳感器矩陣掃描，快速評(píng)估曝光均勻性
- 自動(dòng)生成?平均值、偏差率、極值?數(shù)據(jù)
2. 佳能光刻系統(tǒng)配套
- 6英寸弧形探頭：
- 11傳感器弧形排列，適配步進(jìn)式光刻機(jī)曝光面分析
操作優(yōu)勢(shì)
- 一鍵數(shù)據(jù)回溯：通過單鍵切換屏幕模式，快速對(duì)比不同測(cè)量結(jié)果
- 標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告：直接導(dǎo)出?均勻度%、3σ標(biāo)準(zhǔn)差?等關(guān)鍵參數(shù)，減少人工計(jì)算
物理參數(shù)
- 外殼材質(zhì)：鋁合金（防震防干擾）
- 探頭線長(zhǎng)：標(biāo)準(zhǔn)1.5米（可延長(zhǎng)至3米）.
