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UV-LED曝光系統（UV-EXP系列）

idonus推出的UV-EXP系列是一種基于高功率LED和高品質均勻化光學系統的創新UV照明系統。該產品線適用于光刻膠曝光（UV-LED光刻和固化），適合用于MEMS、微流體、光子學、半導體和光伏應用中的多種基材和光刻膠。我們的標準UV照明產品系列滿足最多300毫米（11.8英寸）寬的掩模和晶圓的光刻需求。

我們可以設計定制解決方案，以滿足您的特定需求（例如，掩模對準器的改造，或您未來產品的OEM）。有關UV-LED改造和定制曝光系統的更多詳細信息，請訪問我們的解決方案 > 技術頁面。

http://ydzhly.com/idonus-irmicroscope/idonus/