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與…一起UV-EXP idonus系列提供了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于高功率led和高級均化光學(xué)器件的使用。該產(chǎn)品線應(yīng)用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化)，適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種襯底和光刻膠。我們的標(biāo)準紫外線照明產(chǎn)品系列解決了300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶片的光刻需求。

可以設(shè)計定制的解決方案來滿足您的特定要求(例如改裝面罩矯正器，為您未來的產(chǎn)品提供OEM服務(wù))。欲知更多詳情紫外LED改裝和定制曝光系統(tǒng)，另請參閱我們的解決方案>技術(shù)頁面。

為什么選擇LED技術(shù)？

直到最近，汞弧燈是唯一能夠提供適用于UV光刻曝光的高強度光的光源。由于LED技術(shù)的進步，UV-LED已經(jīng)成為危險且耗能的汞燈的非常有吸引力的替代品。

除了生態(tài)和安全方面，與傳統(tǒng)的汞燈相比，UV-led的技術(shù)優(yōu)勢對于光刻來說是眾多且重要的。紫外發(fā)光二極管的一個最大優(yōu)點是，它們在很長的壽命內(nèi)以一致的發(fā)射工作。因此，不需要日常校準和維護。此外，由于能效更高，led減少了發(fā)熱，從而大大簡化了系統(tǒng)冷卻。

值得注意的是，發(fā)射365納米、405納米和435納米(峰值波長)的發(fā)光二極管可以組合起來模擬汞弧燈的UV-A光譜(i-line,?h線和g線汞元素的特征峰)，可以看出在這個圖表中.

UV-LED曝光的好處:

穩(wěn)定的照明，無需每日校準
瞬間接通，光只在曝光時打開，不需要機械快門
長壽命，意味著不再需要耗材
專一性的:不會對襯底產(chǎn)生不必要的加熱，工藝可重復(fù)程度更高
低功耗
沒有維護成本

idonus UV-LED曝光系統(tǒng)

idonus推出了完整的UV-LED曝光產(chǎn)品系列。我們的系統(tǒng)集成了市場上最有效的UV-led和高級微透鏡陣列。它們完全在內(nèi)部組裝和控制。我們的設(shè)計采用了全遠心光學(xué)系統(tǒng)，可在整個曝光區(qū)域提供可重復(fù)且均勻的照明條件即具有非常小的發(fā)散角的高度均勻和穩(wěn)定的強度。這種尖端光學(xué)器件確保整個基板完全均勻曝光，產(chǎn)生具有直側(cè)壁的固化光刻膠，并實現(xiàn)具有微米臨界尺寸的圖案的精確微結(jié)構(gòu)。