idonus,UV-EXP 150R, UV-EXP 150S, UV-EXP 200S,UV-LED曝光系統(tǒng)
UV-LED曝光系統(tǒng)(UV-EXP系列)
idonus推出的UV-EXP系列是一種基于高功率LED和高品質(zhì)均勻化光學(xué)系統(tǒng)的創(chuàng)新UV照明系統(tǒng)。該產(chǎn)品線適用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化),適合用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中的多種基材和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)UV照明產(chǎn)品系列滿足最多300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶圓的光刻需求。
我們可以設(shè)計定制解決方案,以滿足您的特定需求(例如,掩模對準(zhǔn)器的改造,或您未來產(chǎn)品的OEM)。有關(guān)UV-LED改造和定制曝光系統(tǒng)的更多詳細(xì)信息,請訪問我們的解決方案 > 技術(shù)頁面。
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