Idonus HF氣相蝕刻機靜電卡盤

靜電卡盤能夠通過靜電力將多個芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片保持器上。
該設備對于研發機構來說非常有用，因為研發機構并不總是能夠處理完整的晶圓。芯片的靜電夾緊允許在HF蒸汽釋放之前對MEMS晶片進行苛刻的切割過程。通過修改經典的制造順序，可以生產出具有極軟懸浮液的MEMS器件。
靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片架上，電力由控制器箱上的開關打開。靜電力可以調節。

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