使用idonus UV-EXP150R自動(dòng)進(jìn)行UV-LED光刻

客戶需要在寬面板上執(zhí)行UV光刻(365 nm波長(zhǎng))。 我們?yōu)樗峁┝藢DONUS UV-LED曝光系統(tǒng)UV-EXP150R與電動(dòng)XY平臺(tái)相結(jié)合的方法。

首先,我們需要調(diào)整XY工作臺(tái),以使電動(dòng)機(jī)能夠移動(dòng)超過50千克的有效負(fù)載。

曝光周期通過專用的圖形用戶界面(GUI)啟動(dòng)。 可編程邏輯控制器(PLC)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)和UV-EXP150R。 客戶只需要將其參數(shù)保存在CSV文件中,該文件包含:X和Y坐標(biāo),曝光設(shè)置。


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