靜電卡盤能夠通過靜電力將多個(gè)芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片支架上。

這種裝置對(duì)R&D的研究機(jī)構(gòu)非常有用，因?yàn)樵谶@些機(jī)構(gòu)中，對(duì)完整的晶片進(jìn)行研究并不總是可能的。芯片的靜電夾持允許在氟化氫蒸汽釋放之前對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)晶片進(jìn)行苛刻的切割工藝。通過修改傳統(tǒng)的制造順序，就有可能生產(chǎn)出具有非常軟的懸架的微機(jī)電系統(tǒng)器件。

靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片支架上，電力由控制器盒上的開關(guān)接通。靜電力可以調(diào)節(jié)。