idonus提出了一種創新的紫外線照明系統，該系統基于大功率LED和高級微透鏡陣列的使用。該產品可用于光致抗蝕劑曝光，適用于多種基材。我們完整的UV照明產品線可滿足300 mm寬的掩模和晶圓的光刻需求。可以設計定制的解決方案來滿足您的特定要求（例如，對掩模對準器進行改造，為將來的產品提供OEM）。
LED的好處
直到最近，水銀弧光燈還是唯一能夠提供適合UV光刻曝光的高強度光的光源。由于LED技術的進步，UV-LED已成為耗能汞燈的極具吸引力的替代品。
除了生態和安全方面，與傳統的汞燈相比，UV-LED的技術優勢眾多，并且對光刻具有重要意義。UV-LED的最重要的優點是，它們具有穩定的發射性，使用壽命長。結果，不需要日常校準和維護。此外，通過提高能源效率，LED減少了發熱量，從而大大簡化了系統冷卻。
UV-LED技術的好處
- LED使用壽命長，這意味著不再需要消耗品
- 無需每日校準，即時穩定的照明
- 即時開啟，光線僅在曝光期間開啟，無需機械快門
- 低功耗
- 有限的加熱，這意味著非常低的空氣冷卻成本
- 沒有維護費用
紫外線LED曝光系統
idonus已經推出了完整的UV-LED曝光產品線。我們的系統將市場上最有效的UV-LED與高級微透鏡陣列集成在一起。它們完全組裝并在內部進行控制。我們的設計采用全遠心光學元件，可在整個曝光區域提供可重復且均勻的照明條件-即高度均勻且穩定的強度，并且發散角很小。這種尖端的光學器件可確保整個基板完全均勻地曝光，從而生產出具有筆直側壁的固化光致抗蝕劑，并可以對具有微米級臨界尺寸的圖案進行精確的微結構化。
