瑞士idonus UV-LED晶圓光刻曝光系統(tǒng)

idonus提出了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于大功率LED和高級(jí)微透鏡陣列的使用。該產(chǎn)品可用于光致抗蝕劑曝光，適用于多種基材。我們完整的UV照明產(chǎn)品線可滿足300 mm寬的掩模和晶圓的光刻需求。可以設(shè)計(jì)定制的解決方案來滿足您的特定要求（例如，對(duì)掩模對(duì)準(zhǔn)器進(jìn)行改造，為將來的產(chǎn)品提供OEM）。

LED的好處

直到最近，水銀弧光燈還是唯一能夠提供適合UV光刻曝光的高強(qiáng)度光的光源。由于LED技術(shù)的進(jìn)步，UV-LED已成為耗能汞燈的極具吸引力的替代品。

除了生態(tài)和安全方面，與傳統(tǒng)的汞燈相比，UV-LED的技術(shù)優(yōu)勢(shì)眾多，并且對(duì)光刻具有重要意義。UV-LED的最重要的優(yōu)點(diǎn)是，它們具有穩(wěn)定的發(fā)射性，使用壽命長(zhǎng)。結(jié)果，不需要日常校準(zhǔn)和維護(hù)。此外，通過提高能源效率，LED減少了發(fā)熱量，從而大大簡(jiǎn)化了系統(tǒng)冷卻。

UV-LED技術(shù)的好處

  • LED使用壽命長(zhǎng)，這意味著不再需要消耗品
  • 無(wú)需每日校準(zhǔn)，即時(shí)穩(wěn)定的照明
  • 即時(shí)開啟，光線僅在曝光期間開啟，無(wú)需機(jī)械快門
  • 低功耗
  • 有限的加熱，這意味著非常低的空氣冷卻成本
  • 沒有維護(hù)費(fèi)用

紫外線LED曝光系統(tǒng)

idonus已經(jīng)推出了完整的UV-LED曝光產(chǎn)品線。我們的系統(tǒng)將市場(chǎng)上最有效的UV-LED與高級(jí)微透鏡陣列集成在一起。它們完全組裝并在內(nèi)部進(jìn)行控制。我們的設(shè)計(jì)采用全遠(yuǎn)心光學(xué)元件，可在整個(gè)曝光區(qū)域提供可重復(fù)且均勻的照明條件-即高度均勻且穩(wěn)定的強(qiáng)度，并且發(fā)散角很小。這種尖端的光學(xué)器件可確保整個(gè)基板完全均勻地曝光，從而生產(chǎn)出具有筆直側(cè)壁的固化光致抗蝕劑，并具有微米級(jí)。

應(yīng)用：

  • 光刻曝光
  • 納米壓印
  • 紫外固化

優(yōu)點(diǎn)：

工藝穩(wěn)定

  • 免校準(zhǔn)，免維護(hù)
  • 即時(shí)開/關(guān)
  • 無(wú)有害物質(zhì)，無(wú)特殊安全規(guī)定


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