使用idonus UV-EXP150R自動進行UV-LED光刻 2020年10月21日 客服:劉 139-1685-4983 (微信同號) 客戶需要在寬面板上執行UV光刻(365 nm波長)。 我們為他提供了將IDONUS UV-LED曝光系統UV-EXP150R與電動XY平臺相結合的方法。 首先,我們需要調整XY工作臺,以使電動機能夠移動超過50千克的有效負載。 曝光周期通過專用的圖形用戶界面(GUI)啟動。 可編程邏輯控制器(PLC)驅動電動平臺和UV-EXP150R。 客戶只需要將其參數保存在CSV文件中,該文件包含:X和Y坐標,曝光設置。 http://ydzhly.com/idonus/wp-content/uploads/sites/55/2020/10/Automated-UV-LED-photolithography-with-the-idonus-UV-EXP150R_new.mp4 MEMS制造設備 光伏制造 光學和機器視覺 微機電系統制造 晶圓紅外顯微鏡 離子注入表面處理 蔭罩掩膜對準器