使用idonus UV-EXP150R自動進行UV-LED光刻

客戶需要在寬面板上執行UV光刻(365 nm波長)。 我們為他提供了將IDONUS UV-LED曝光系統UV-EXP150R與電動XY平臺相結合的方法。

首先,我們需要調整XY工作臺,以使電動機能夠移動超過50千克的有效負載。

曝光周期通過專用的圖形用戶界面(GUI)啟動。 可編程邏輯控制器(PLC)驅動電動平臺和UV-EXP150R。 客戶只需要將其參數保存在CSV文件中,該文件包含:X和Y坐標,曝光設置。


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