靜電卡盤能夠通過靜電力將多個芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片支架上。

這種裝置對R&D的研究機構非常有用，因為在這些機構中，對完整的晶片進行研究并不總是可能的。芯片的靜電夾持允許在氟化氫蒸汽釋放之前對微機電系統晶片進行苛刻的切割工藝。通過修改傳統的制造順序，就有可能生產出具有非常軟的懸架的微機電系統器件。

靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片支架上，電力由控制器盒上的開關接通。靜電力可以調節。