硅片是集成電路（IC）和微電子機械系統(tǒng)（MEMS）制造中必不可少的組成部分。在紅外（IR）范圍內能夠透視這種半導體材料對于制造過程的質量控制非常有利。

idonus紅外硅片檢測顯微鏡（IR-M）配備了長工作距離物鏡。3級變焦允許用戶選擇合適的視場和放大倍率。紅外敏感攝像頭通過USB 3.0通信將檢測樣品的圖像顯示在計算機上。分辨率優(yōu)于3 μm，并配備5×物鏡。

此外，還提供頂部照明功能。這使顯微鏡可以在傳統(tǒng)模式下使用，并檢查硅片的頂部表面。紅外顯微鏡配備了XY臺，可容納直徑200毫米（8英寸）或更小的硅片。可選地，XY臺可以由電機驅動，通過圖形用戶界面（GUI）和/或操縱桿方便地控制。