瑞士Idonus MEMS制造設備 晶圓鍵合檢查裝置 應用于紅外圖像 2024年9月6日 ? ? ? ? ? ? 應用領域: 紅外圖像的示例:左圖顯示了熔融粘合后的兩個硅晶片(圖片由CSEM SA提供)。總厚度為1.0毫米。兩個晶片之間的未結合區域通過推斷圖案可視化。右圖顯示了預構造晶圓的鍵合。規則圖案由蝕刻腔組成。邊界處的干涉圖樣也表明該區域的粘合不良。 MEMS MEMS制造設備 晶圓鍵合檢查裝置 晶圓鍵合檢測機 瑞士IDONUS