瑞士idonus UV-LED曝光系統(tǒng)UV-EXP系列

瑞士idonus UV-LED曝光系統(tǒng)UV-EXP系列

Idonus UV-EXP系列提供了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于高功率led和高級(jí)均化光學(xué)器件的使用。該產(chǎn)品線應(yīng)用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化)，適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種襯底和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)紫外線照明產(chǎn)品系列解決了300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶片的光刻需求。系列提供了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于高功率led和高級(jí)均化光學(xué)器件的使用。該產(chǎn)品線應(yīng)用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化)，適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種襯底和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)紫外線照明產(chǎn)品系列解決了300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶片的光刻需求。

為什么選擇LED技術(shù)？

直到最近，汞弧燈是唯一能夠提供適用于UV光刻曝光的高強(qiáng)度光的光源。由于LED技術(shù)的進(jìn)步，UV-LED已經(jīng)成為危險(xiǎn)且耗能的汞燈的非常有吸引力的替代品。

除了生態(tài)和安全方面，與傳統(tǒng)的汞燈相比，UV-led的技術(shù)優(yōu)勢(shì)對(duì)于光刻來說是眾多且重要的。紫外發(fā)光二極管的一個(gè)最大優(yōu)點(diǎn)是，它們?cè)诤荛L(zhǎng)的壽命內(nèi)以一致的發(fā)射工作。因此，不需要日常校準(zhǔn)和維護(hù)。此外，由于能效更高，led減少了發(fā)熱，從而大大簡(jiǎn)化了系統(tǒng)冷卻。

值得注意的是，發(fā)射365納米、405納米和435納米(峰值波長(zhǎng))的發(fā)光二極管可以組合起來模擬汞弧燈的UV-A光譜(i-line,?h線和g線汞元素的特征峰)，可以看出在這個(gè)圖表中

UV-LED曝光的好處

  • 穩(wěn)定的照明，無需每日校準(zhǔn)
  • 瞬間接通，光只在曝光時(shí)打開，不需要機(jī)械快門
  • 長(zhǎng)壽命，意味著不再需要耗材
  • 專一性的:不會(huì)對(duì)襯底產(chǎn)生不必要的加熱，工藝可重復(fù)程度更高
  • 低功耗
  • 沒有維護(hù)成本

idonus UV-LED曝光系統(tǒng)

idonus推出了完整的UV-LED曝光產(chǎn)品系列。我們的系統(tǒng)集成了市場(chǎng)上最有效的UV-led和高級(jí)微透鏡陣列。它們完全在內(nèi)部組裝和控制。我們的設(shè)計(jì)采用了全遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，可在整個(gè)曝光區(qū)域提供可重復(fù)且均勻的照明條件即具有非常小的發(fā)散角的高度均勻和穩(wěn)定的強(qiáng)度。這種尖端光學(xué)器件確保整個(gè)基板完全均勻曝光，產(chǎn)生具有直側(cè)壁的固化光刻膠，并實(shí)現(xiàn)具有微米臨界尺寸的圖案的精確微結(jié)構(gòu)。

Model Wavelength Useful exposure area Irradiance, Ee Non-uniformity, C * αFWHM WD ** External dimensions, mm3
@385/395/405 nm @365 nm (lamphouse only) (complete system)
UV-LAB100R 365 nm ? 100 mm — 12 mW/cm2 5% ±2° 250 mm 200×250×400 250×300×670
UV-EXP150R 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm ? 150 mm 50 mW/cm2 40 mW/cm2 3% ±1.8° 350 mm 610×305×250 1000×480×330
UV-EXP150S 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm 150×150 mm2 50 mW/cm2 40 mW/cm2 3% ±1.8° 300 mm 600×360×300 960×500×420
UV-EXP200R 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm ? 200 mm 30 mW/cm2 25 mW/cm2 3% ±1.4° 400 mm 730×415×360 1170×570×530
UV-EXP200S 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm 200×200 mm2 30 mW/cm2 25 mW/cm2 3% ±1.4° 400 mm 730×415×360 1170×570×530
UV-EXP300S-1LE 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm 300×300 mm2 17 mW/cm2 13 mW/cm2 3% ±1.0° 300 mm 920×560×510 1270×715×700
UV-EXP300S-3LE 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm 300×300 mm2 50 mW/cm2
(3 LEDs)		 40 mW/cm2
(3 LEDs)		 3% ±2.5° 300 mm 920×560×510 1270×715×700
UV-EXP600S 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm 600×600 mm2 30 mW/cm2
(multiple LEDs)		 20 mW/cm2
(multiple LEDs)		 3% ±2.0° 300 mm 1500×1100×900 ***


Related posts