Idonus HF氣相蝕刻機(jī)靜電卡盤

靜電卡盤能夠通過靜電力將多個(gè)芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片保持器上。
該設(shè)備對于研發(fā)機(jī)構(gòu)來說非常有用，因?yàn)檠邪l(fā)機(jī)構(gòu)并不總是能夠處理完整的晶圓。芯片的靜電夾緊允許在HF蒸汽釋放之前對MEMS晶片進(jìn)行苛刻的切割過程。通過修改經(jīng)典的制造順序，可以生產(chǎn)出具有極軟懸浮液的MEMS器件。
靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片架上，電力由控制器箱上的開關(guān)打開。靜電力可以調(diào)節(jié)。