美國 Key High PEV-1-001壓電閥 電氣體流量閥控制
主要高真空產(chǎn)品壓電氣體流量閥控制真空系統(tǒng)內(nèi)的氣體流量。PEV-1?結(jié)構(gòu)緊湊，在幾毫秒內(nèi)響應(yīng)，并為 PID 壓力控制應(yīng)用提供極其精確的氣流。
Key High 的?PEV-1?需要 0-100 VDC 輸入。閥門的閾值電壓為20-30vdc，最大電壓tage不超過100vdc。最大入口壓力不應(yīng)超過 50psig。
PEV-1?是一種故障安全（關(guān)閉）閥。如果斷電，PEV-1 將保持關(guān)閉狀態(tài)，直到電源恢復(fù)。
Key High 制造的所有閥門均使用 3 x 10-9 scc 的氦質(zhì)譜儀進行泄漏測試，具有單氣壓差，沒有可測量的泄漏。
特征
- 不銹鋼結(jié)構(gòu)
- 0 至 525 sccm
- 2毫秒響應(yīng)時間
- 無過沖
- 1/4“ 世偉洛克?或 1/4” 公頭 VCR? 接口
- 工作范圍 +10° C 至 +60° C
| 部件號 | 描述 | |
|---|---|---|
PEV-1 | 壓電閥 1/4“ 世偉洛克?接頭 | |
| PEV-1-VCR? | 壓電閥 1/4“ 公頭錄像機? | |
| PEV-1-001 | 替換氟橡膠?密封件 | |
| PEV-1-002 | 入口過濾器 2 微米 | |
| PEV-1-003 | RG-188 電纜 10 英尺，僅帶一個配套連接器 | |
| PEV-1-004 | 1/4“ FNPT 入口接頭和 1/2” 外徑管出口接頭 |
