描述
聚焦或均勻的廣角低能電子束
10 eV 至 1500 eV
應用：
- 表面物理研究
- 真空物理實驗
- 電荷中和
- 電子解吸
- 表面清理
- 熒光粉測試
- 電離實驗
- 半導體加工
功能/選項：
- 參數(shù)可控性廣
- 泛光光束或窄角光束
- 靜電聚焦
- 偏轉、光柵、脈沖
- 可拆卸噴槍
- 電腦 / 遙控器
能量范圍：10 eV 至 1500 eV
光束電流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1mm 至 100mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項
特點/選項：窄角光束或泛光光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖
Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-1017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理實驗和加工應用。它是一個完整的子系統(tǒng)，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內獨立調節(jié)。
EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。槍式設計允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。標準型號 EFG-7 可產(chǎn)生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高電流選項提供高達 1 mA 的光束電流。
居中、偏轉、光柵和脈沖均作為選項提供。由于該設計已優(yōu)化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉器，因此當光束聚焦到一個小點時，偏轉像差可能會很嚴重。
全程采用 UHV 技術。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 最多 10-5torr 用于標準 Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。
通過打開上方“資源”選項卡中的詳細 EFG-7 / EGPS-1017 PDF 規(guī)格文檔，了解更多信息。
