EGA-1012 電子槍，美國，美國Kimball Physics, Inc. ,離子槍,電子槍,陰極，探測器，自由電子激光器

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應用：

  • 表面物理研究
  • 真空物理實驗
  • 電荷中和
  • 電子解吸
  • 表面清理
  • 熒光粉測試
  • 電離實驗
  • 半導體加工

功能/選項：

  • 光束電流高達 2mA
  • Feedback Stabilized Emission Current
  • 用戶可更換的點火裝置
  • UHV 兼容 / 可烘烤
  • 電腦 / 遙控器
  • 光束脈沖選項

能量范圍：5 eV 至 1k eV
光束電流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無聚焦能力）
安裝：2.75“ CF
特點/選項：泛光光束、脈沖、雙網格

 

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理和需要低能量高束流的加工應用。它是一個完整的子系統，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發散度都是可獨立調節的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產生均勻的泛光光束。這種設計允許產生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術。電子槍可在高達 350°C 的溫度下烘烤，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。

標準陰極是一個大電流、堅固的釔涂層圓盤 （Y2O3).陰極在寒冷時不會因反復暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關的函數。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長達數百小時，甚至超過一千小時。


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