EGH-6002 電子槍,美國,美國Kimball Physics, Inc. ,離子槍,電子槍,陰極,探測(cè)器,自由電子激光器

描述

可聚焦小光斑尺寸、高能電子束

1 keV 至 50 keV

應(yīng)用:

  • 一般真空物理學(xué)
  • 輻射研究
  • 地表轟炸
  • 半導(dǎo)體研究
  • 生物標(biāo)本照射
  • X 射線生成
  • 血漿激發(fā)
  • 熒光研究
  • 表面物理研究

功能/選項(xiàng):

  • 中等束流
  • 光斑尺寸小
  • 靜磁聚焦
  • 靜磁偏轉(zhuǎn)
  • 磁性透鏡
  • 脈沖能力
  • 運(yùn)行時(shí)的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)
  • 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝
  • UHV 技術(shù) / 可烘烤
  • 電腦 / 遙控器

能量范圍:1 keV 至 50 keV
束流:10 nA 至 100 μA
光斑尺寸:0.5 mm 至 100 mm
安裝:4.5“ CF 或 6.0”CF

Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng),可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導(dǎo)體研究到二次電子發(fā)射研究的許多不同的應(yīng)用。

該槍可以產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標(biāo)準(zhǔn)配置。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖傳輸。

噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)提供低像差的光束控制。此外,陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長。

該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件,允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)噴槍在全電壓下運(yùn)行并打開光束時(shí),可以實(shí)時(shí)完成這種對(duì)準(zhǔn)。點(diǎn)火裝置彈藥筒(包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑)可由用戶更換,甚至無需從真空室中取出噴槍。用過的點(diǎn)火裝置可以退回工廠進(jìn)行重建。


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