描述
可聚焦小光斑尺寸、高能電子束
1 keV 至 50 keV
應用：
- 一般真空物理學
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導體研究
- 生物標本照射
- X 射線生成
- 血漿激發
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項：
- 中等束流
- 光斑尺寸小
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運行時的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝
- UHV 技術 / 可烘烤
- 電腦 / 遙控器
能量范圍：1 keV 至 50 keV
束流：10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm
安裝：4.5“ CF 或 6.0”CF
Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個完整的子系統，可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導體研究到二次電子發射研究的許多不同的應用。
該槍可以產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標準配置。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
噴槍的可調節光學元件可以適應不同的發散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內部調節以改變磁長。
該噴槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。當噴槍在全電壓下運行并打開光束時，可以實時完成這種對準。點火裝置彈藥筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，甚至無需從真空室中取出噴槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。
