kimball physics EFG-7/EGPS-1017電子槍
聚焦或均勻廣角低能電子束
10eV至1500eV
應用:
- 表面物理研究
- 真空物理實驗
- 電荷中和
- 電子解吸
- 表面擦洗
- 磷光體測試
- 電離實驗
- 半導體加工
特性/選項:
- 廣泛可控的參數
- 泛光光束或窄角光束
- 靜電聚焦
- 偏轉、光柵、脈沖
- 可拆卸槍
- 電腦/遙控器
能量范圍:10 eV至1500 eV
電子束電流/光點尺寸:1 nA至100 A
斑點尺寸:1毫米至100毫米
安裝:2.75英寸(2英寸)CF，可拆卸選項
特性/選項:窄角束或泛光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖
金博爾物理EFG-7電子槍及其匹配的EGPS-1017電源，旨在用于各種超高真空(UHV)物理實驗、表面物理實驗和處理應用。它是一個完整的子系統，可以隨時連接和啟動。射束能量、射束電流和光斑尺寸可以在很寬的范圍內獨立調節。
EFG-7電子槍使用難熔金屬陰極來產生均勻的泛光電子束。槍的設計允許產生低能量和非常低的電流的束。標準型號的EFG-7產生1 nA至100 μA的束流和10 eV至1500 eV的能量。高電流選項提供高達1 mA的電子束電流。
定心、偏轉、光柵和脈沖都可以選擇。因為該設計已被優化為泛光槍，并使用圓柱形4極偏轉器，所以當光束被聚焦到一個小點時，偏轉偏差會很嚴重。
UHV技術貫穿始終。這種槍可以在真空中從10-11高達10托-5標準鉭圓盤陰極的托。拆下電纜后，電子槍可烘烤至350°C。使用法拉第杯時，最大值為65oc除非移除。
