kimball physics EFG-7/EGPS-2017電子槍描述
聚焦或均勻廣角低能電子束
50電子伏至5千電子伏
應用:
- 表面物理研究
- 真空物理實驗
- 電荷中和
- 電子解吸
- 表面擦洗
- 磷光體測試
- 電離實驗
- 半導體加工
特性/選項:
- 廣泛可控的參數
- 泛光光束或窄角光束
- 靜電聚焦
- 偏轉、光柵、脈沖
- 可拆卸槍
- 電腦/遙控器
能量范圍:50 eV至5k eV
電子束電流:1 nA至100 A
斑點尺寸:1毫米至100毫米
安裝:2.75英寸(2英寸)CF，可拆卸選項
特性/選項:泛光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖
金博爾物理EFG-7電子槍及其匹配的EGPS-2017電源，旨在用于各種超高真空(UHV)物理實驗、表面物理實驗和處理應用。它是一個完整的子系統，可以隨時連接和啟動。射束能量、射束電流和光斑尺寸可以在很寬的范圍內獨立調節。
EFG-7電子槍使用難熔金屬陰極來產生均勻的泛光電子束。槍的設計允許產生低能量和非常低的電流的束。5千電子伏的EFG-7型產生1納至100微安的束流和50千電子伏至5千電子伏的能量。
居中偏轉、光柵掃描和脈沖都可以作為選項。因為該設計已被優化為泛光槍，并使用圓柱形4極偏轉器，所以當光束被聚焦到一個小點時，偏轉偏差會很嚴重。
UHV技術貫穿始終。這種槍可以在真空中從10-11高達10托-5標準鉭圓盤陰極的托。拆下電纜后，電子槍可烘烤至350°C。
