美國KIMBALL PHYSICS 電子槍 電子束發生系統
Kimball Physics 電子槍（束）系統通常包括一個匹配的電源，提供一個完整的子系統，可以直接連接到用戶的真空硬件并啟用。
許多系統的束能量、束流和點尺寸可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以通過可選的 Labview™ 計算機接口進行控制。
我們的多數系統在超高真空（UHV）條件下兼容，適用于最高可達 10^-11 torr 的真空環境。
根據系統的不同，提供多種陰極選項，包括：
- 氧化鋇盤（BaO，低光照、低能量擴展，最小真空 1×10^-7 torr）
- 鍍釔銥盤（Y2O3 銥，堅固，真空條件可達 10^-4 torr，可能耐受短時間的真空喪失）
- 鉭盤陰極
- 單晶鈰六硼化物（LaB6，小點、高亮度，最小真空 1×10^-7 torr）
Kimball Physics 的產品已發展成為廣泛的電子束系統，我們將其任意劃分為低能（最高 5 keV）、中能（最高 30 keV）和高能（最高 100 keV）系統。許多系統起源于定制項目，這仍然是我們關注的一個重要領域。
低能系統，能量范圍從 1 eV 到 5 keV，電流范圍從 1 nA 到 2 mA，點尺寸范圍從 0.5 mm 到 100 mm，現已提供。
下表提供了電子槍系統規格的對比，以及每個低能電子槍系統的典型應用和特點。
FRA-2X1-2 EGPS-1011
ELG-2 EGPS-1022
EGA-1012 EGPS-1012
EFG-7 EGPS-1017
EFG-7 (HighCurrent) EGPS-1017
EFG-7 EGPS-2017
EGL-2022 EGPS-2022
低能電子槍系統 (<5 keV)
| 電子槍系統 | FRA-2X1-2 EGPS-1011 | ELG-2 EGPS-1022 | EGA-1012 EGPS-1012 | EFG-7 EGPS-1017 | EFG-7 (高電流) EGPS-1017 | EFG-7 EGPS-2017 | EGL-2022 EGPS-2022 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 能量范圍 | 5 eV | 1 eV | 5 eV | 1 keV | 1.5 keV | 10 eV | 5 keV |
| 電流范圍 | 1 nA | 1 nA | 1 μA | 2 mA | 100 μA | 100 μA | 100 μA |
| 點尺寸 | 2 mm | 0.5 mm | 1 mm | 5 mm | 100 mm | 25 mm | 100 mm |
| 工作距離（最小） | 20 mm | 10 mm | 25 mm | 1 mm | 1 mm | 25 mm | 25 mm |
| 工作距離（最大） | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm |
| 束流均勻性 | 高斯 | 高斯 | 高斯 或 均勻 | 高斯 | 高斯 或 均勻 | 高斯 或 均勻 | 高斯 或 均勻 |
說明：
- 能量范圍：電子槍系統支持的電子束能量范圍。
- 電流范圍：電子槍系統支持的電子束電流范圍。
- 點尺寸：電子束的最小和最大點尺寸。
- 工作距離：系統支持的最小和最大工作距離。
- 束流均勻性：束流的分布特性，通常為高斯分布或均勻分布。
