Kimball Physics電子槍(束)系統通常包括配套的電源,提供一個完整的子系統,用戶只需將其連接到真空硬件并開啟即可使用。
在許多系統中,束流能量、束流電流和點大小可以在其寬范圍內獨立調節,并且可以通過可選的Labview™計算機接口進行控制。
我們的大多數系統在真空條件下兼容超高真空(UHV),可承受高達 10^-11 torr 的真空度。根據系統的不同,提供各種陰極選項,包括:
- 氧化鋇圓盤(BaO,低光、低能量擴展,最小真空度 1×10^-7 torr)
- 氧化釔涂層銥圓盤(Y2O3 銥,堅固耐用,真空度可達 10^-4 torr,能承受短時間的真空喪失)
- 鉭圓盤陰極
- 單晶六硼化鑭(LaB6,小點、亮度高,最小真空度 1×10^-7 torr)
Kimball Physics的產品已經發展成一系列電子束系統,我們將其大致劃分為低能(最高 5 keV)、中能(最高 30 keV)和高能(最高 100 keV)系統。許多系統源自定制項目,這仍然是我們關注的主要領域之一。
高能系統的能量范圍從 1 keV 到 100 keV,電流范圍從 1 nA 到 2 mA,點大小從 50 微米到 500 mm。
以下表格提供了高能電子槍系統的規格比較: