美國kimball離子槍ILG-6 / IGPS-1016
Kimball Physics離子槍系統或離子源用于MBE的表面物理學,空間物理學,真空物理學,電荷中和,檢測校準,二次離子質譜和離子注入。
操作范圍
性能
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多功能性
運作能力 |
能量范圍:?10 eV至1 keV
束電流:?1 nA至100 nA光
點尺寸:?1 mm至5 mm
工作距離:?10 mm至200 mm
安裝:?2.75“ CF或可拆卸
功能/選項:可聚焦,變焦鏡頭,恒定點超出能量范圍,偏轉,光柵,脈沖等
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