美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EFG-7 EGPS-2017

描述：
聚焦或均勻廣角低能電子束
50 eV至5 keV
應(yīng)用：
表面物理研究
真空物理實驗
電荷中和
電子解吸
表面擦洗
熒光粉測試
電離實驗
半導體加工

功能/選項：
可廣泛控制的參數(shù)
泛光梁或窄角梁
靜電聚焦
偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖
可拆卸槍
計算機/遠程控制

能量范圍：50 eV至5k eV
束流：1 nA至100μA
光斑尺寸：1毫米至100毫米
安裝：2.75英寸（2?英寸）CF，可拆卸選項
功能/選項：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖

Kimball Physics EFG-7電子槍及其配套的EGPS-2017電源可用于各種超高真空（UHV）物理實驗、表面物理實驗和加工應(yīng)用。它是一個完整的子系統(tǒng)，可以隨時連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可以在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)。
EFG-7電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光束。槍的設(shè)計允許產(chǎn)生低能量、低電流的光束。5 keV模型EFG-7產(chǎn)生1 nA至100μa的束流和50 eV至5 keV的能量。

定心偏轉(zhuǎn)、光柵和脈沖都是可選的。由于該設(shè)計已被優(yōu)化為泛光槍，并使用了圓柱形四極偏轉(zhuǎn)器，因此當光束聚焦到一個小點時，偏轉(zhuǎn)像差可能會很嚴重。
特高壓技術(shù)貫穿始終。對于標準Ta盤陰極，該槍可以在10-15torr至10-5torr的真空中運行。拆下電纜后，電子槍可烘烤至350°C。