美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發生系統 EGH-6002 / EGPS-6002

描述：
可聚焦的小光斑尺寸高能電子束
1keV至50keV

應用：
普通真空物理學
輻射研究
地面轟炸
半導體研究
生物樣本輻照
X射線生成
等離子體激發
熒光研究
表面物理研究

功能/選項：
中等束流
小光斑尺寸
靜磁聚焦
靜磁偏轉
磁性透鏡
脈沖能力
操作時內部對齊
用戶可更換的射擊裝置
5英寸或6.0英寸CF安裝
特高壓技術/可烘烤
計算機/遠程控制

能量范圍：1keV至50keV
束流：10 nA至100μA
光斑尺寸：0.5毫米至100毫米
安裝：4.5英寸CF或6.0英寸CF

Kimball Physics EGH-6002電子槍及其配套的EGPS-6002電源是一個完整的子系統，可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內輸送電子。EGH-6002可用于從半導體研究到二次電子發射研究的許多不同應用。
該槍可以產生高能、可聚焦、小點的電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內獨立調節；1keV至50keV的能量和10nA至100μA的電流是標準的。電子束可以通過控制柵極的輸入信號進行脈沖。

槍的可調光學元件可以適應不同的發散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從0.5毫米到10厘米不等。磁聚焦透鏡和磁定心偏轉提供了低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可以在內部調節，以改變導電性。
該槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火單元相對于陽極和柱進行機械對準。這種對準可以在槍在全電壓下打開光束的情況下實時完成。發射單元的彈藥筒（包括陰極、陰極安裝架和文納爾孔徑）是用戶可更換的，甚至無需從真空室中取出槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。