美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發生系統 EGH-8103 EGPS-8103

描述：
可聚焦高能電子束，光斑尺寸小至60μm
10keV至100keV

應用：

普通真空物理學
輻射研究
地面轟炸
半導體研究
生物樣本輻照
X射線生成
等離子體激發
熒光研究
表面物理研究

功能/選項：
小斑點尺寸低至60μm
束電流高達1mA
靜磁聚焦
靜磁偏轉
磁性透鏡
脈沖能力
操作過程中的內部對齊
用戶可更換的射擊裝置
計算機/遠程控制
差動泵

能量范圍：10keV至100keV
束流/光斑尺寸：
標準：10 nA至100μA/標準：60μm至10 mm
大電流：10 nA至1 mA/大電流：500μm至10 mm
安裝：6.0英寸CF安裝

Kimball Physics EGH-8103電子槍及其配套的EGPS-8103電源是一個完整的子系統，可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內輸送電子。EGH-8103在空間材料測試、輻射研究、半導體研究、x射線產生和等離子體激發方面有應用。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭（LaB6）陰極來產生高能、可聚焦、小點的電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內獨立調節；能量從10keV到100keV，電流從10nA到1mA。電子束可以通過控制柵極的輸入信號進行脈沖。

該槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火單元相對于陽極和柱進行機械對準。這種對準可以在槍打開光束的情況下實時完成。
噴槍設計提供了源區的差動泵送，源室上有一個4.5英寸的CF法蘭，用于連接渦輪泵。電離計和其他選項有三個2.75英寸CF法蘭。噴槍通常安裝在6.0英寸CF法蘭上，插入長度為零，不延伸到真空室中。