美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EMG-4210 EGPS-4210

描述：
可聚焦高能電子束，光斑尺寸小至100μm
1keV至30keV

應(yīng)用：
普通真空物理學(xué)
輻射研究
地面轟炸
半導(dǎo)體研究
X射線生成
等離子體激發(fā)
熒光研究
表面物理研究

功能/選項(xiàng)：
光斑尺寸低至100μm
束電流高達(dá)5mA
靜磁聚焦
可選的靜磁束整形
靜磁偏轉(zhuǎn)
脈沖能力
操作過程中的內(nèi)部對(duì)齊
用戶可更換的射擊裝置

能量范圍：1keV至30keV
束流：10μA至5mA*
光斑尺寸：100μm至10 mm
安裝：2.75英寸（2?）CF
*更高的電流選項(xiàng)可用。

帶有匹配EGPS-4210電源的EMG-4210電子槍是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)。它可以在50毫米至1000毫米的工作距離內(nèi)，在廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)輸送電子。磁性定心和可選的整形線圈提供了額外的束控制，使用戶能夠偏轉(zhuǎn)和整形電子束。應(yīng)用包括空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、x射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。
電子槍系統(tǒng)使用單晶六硼化鑭（LaB6）陰極來產(chǎn)生高能、可聚焦、小點(diǎn)電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，能量從1keV到30keV，電流從10μA到5mA。電子束可以通過控制柵極的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖。

槍的可調(diào)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和一系列的工作距離，適用于各種應(yīng)用。磁聚焦透鏡的光斑尺寸可以從10毫米到100微米不等。磁性定心和可選的整形線圈提供了額外的束控制，允許用戶偏轉(zhuǎn)和整形電子束。整形通常會(huì)產(chǎn)生橢圓光束，其中兩個(gè)軸都可以獨(dú)立壓縮或延伸。此外，陰極到陽極的間距可以在內(nèi)部調(diào)節(jié)，以改變導(dǎo)電性。
該槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火單元相對(duì)于陽極和柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在槍在光束打開的情況下實(shí)時(shí)完成。