美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量(最大 30 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量(最大 30 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

Kimball Physics 是電子槍(束)系統的領先供應商,其設計適用于各種超高真空 (UHV) 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸,用于 X 射線生產、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束,用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。

操作范圍

  • 能量范圍:1 eV 至 100 keV
  • 光束電流范圍:1 nA 至 20 mA
  • 光斑尺寸范圍:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束

性能

  • 束流穩定性:反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
  • 能量穩定性:±每小時 0.01%,全輸出時每 8 小時± 0.02%,以最大限度地減少色差

方便

  • 客戶可更換的點火裝置
  • 全運行期間的機械對中
  • 可存儲控件設置
  • 電腦遙控器/計量

運營能力

型號 #: EGA-1012 EGPS-1012

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應用:

功能/選項:

  • 光束電流高達 2mA
  • Feedback Stabilized Emission Current
  • 用戶可更換的點火裝置
  • UHV 兼容 / 可烘烤
  • 電腦 / 遙控器
  • 光束脈沖選項

能量范圍:5 eV 至 1k eV
光束電流:1 μA 至 2 mA
光斑尺寸:10 mm 至 25 mm(無聚焦能力)
安裝:2.75“ CF
特點/選項:泛光光束、脈沖、雙網格

 

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源,旨在用于各種超高真空 (UHV) 物理實驗、表面物理和需要低能量高束流的加工應用。它是一個完整的子系統,隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發散度都是可獨立調節的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產生均勻的泛光光束。這種設計允許產生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術。電子槍可在高達 350°C 的溫度下烘烤,無需電纜。使用法拉第杯時,最大值為 65oC 除非被刪除。

標準陰極是一個大電流、堅固的釔涂層圓盤 (Y2O3).陰極在寒冷時不會因反復暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關的函數。在良好真空下,低電流下的陰極壽命可能長達數百小時,甚至超過一千小時。


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