美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量（最大 30 keV),EGG-3101 / EGPS-3101
Kimball Physics 是電子槍（束）系統的領先供應商，其設計適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍：1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流穩定性：反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
- 能量穩定性：±每小時 0.01%，全輸出時每 8 小時± 0.02%，以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點火裝置
- 全運行期間的機械對中
- 可存儲控件設置
- 電腦遙控器/計量
運營能力
描述
小光斑準直光束，運行期間對準，更高電流選項 – 高達 1 mA
100 eV 至 10 keV
應用：
- 一般真空物理實驗
- 空間物理實驗
- 試樣加熱
- 電子衍射
- 熒光粉研究
- MBE RHEED 研究
功能/選項：
- 全新模塊化設計
- 運行時的內部對中
- 準直梁
- 小光斑選項
- 高達 1 mA 的更高電流選項
- 靜電聚焦和偏轉
- 消隱、脈沖、光柵
- 可旋轉 2.75 英寸 CF 安裝
- UHV 兼容且可烘烤
- 電腦 / 遙控器
- 法蘭多路復用器靈活性
- 用戶可更換的點火裝置
- 安裝式氣動法拉第杯
能量范圍：100 eV 至 10 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA / 標準：0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項：1 nA 至 10 μA / 60 μm 至 10 mm
高電流選項：1 μA 至 1 mA / 大電流選項：1.5 mm 至 25 mm
安裝：2.75“ CF
Kimball Physics EGG-3101 電子槍及其匹配的 EGPS-3101 電源是一種多用途模塊化電子槍，應用范圍廣泛。EGG-3101 / EGPS-3101 是一個完整的子系統，可連接到用戶的真空系統并啟動。
使用六硼化鑭陰極的小光斑選項，該噴槍可提供低至 60?μm 的光斑。使用大電流選項，可以獲得高達 1 mA 的光束電流。
該槍能夠產生準直小點或泛光電子束。束流、束流能量和光斑尺寸都可以在很寬的范圍內獨立調節。能量可以在 100 eV 到 10 keV 之間變化。光束電流和光斑尺寸范圍取決于規格表中所示的系統選項。脈沖、光束消隱和光柵也作為選項提供。
該噴槍具有可調節的陰極饋入組件，當噴槍在光束打開的情況下以全電壓運行時，允許點火裝置相對于陽極和柱的機械對準。
EGG-3101 的模塊化設計允許用戶更換閃光裝置組件或鏡頭組件。點火裝置（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，無需將噴槍從真空室中取出。陽極也很容易更換。此外，陰極到陽極的間距可在內部調節，以改變電子束的空間電荷效應或透視。
