美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGH-6002 / EGPS-6002
Kimball Physics 是電子槍（束）系統(tǒng)的領先供應商，其設計適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產(chǎn)、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍：1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流穩(wěn)定性：反饋穩(wěn)定發(fā)射電流控制;優(yōu)于每小時 ± 0.1%
- 能量穩(wěn)定性：±每小時 0.01%，全輸出時每 8 小時± 0.02%，以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點火裝置
- 全運行期間的機械對中
- 可存儲控件設置
- 電腦遙控器/計量
運營能力
描述
可聚焦小光斑尺寸、高能電子束
1 keV 至 50 keV
應用：
- 一般真空物理學
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導體研究
- 生物標本照射
- X 射線生成
- 血漿激發(fā)
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項：
- 中等束流
- 光斑尺寸小
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運行時的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝
- UHV 技術 / 可烘烤
- 電腦 / 遙控器
能量范圍：1 keV 至 50 keV
束流：10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm
安裝：4.5“ CF 或 6.0”CF
Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導體研究到二次電子發(fā)射研究的許多不同的應用。
該槍可以產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節(jié);1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標準配置。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進行脈沖傳輸。
噴槍的可調節(jié)光學元件可以適應不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內部調節(jié)以改變磁長。
該噴槍具有可調節(jié)的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。當噴槍在全電壓下運行并打開光束時，可以實時完成這種對準。點火裝置彈藥筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，甚至無需從真空室中取出噴槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。
