操作范圍

• 能量范圍：1 eV 至 100 keV
• 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
• 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

• 束流穩定性：反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
• 能量穩定性：±每小時 0.01%，全輸出時每 8 小時± 0.02%，以最大限度地減少色差

方便

• 客戶可更換的點火裝置
• 全運行期間的機械對中
• 可存儲控件設置
• 電腦遙控器/計量

運營能力

• 快速脈沖/光束消隱
• 偏轉 / 光柵
• 槍式法拉第杯

型號 #： EGH-6210 EGPS-6210

描述

可聚焦、高能電子束，光斑尺寸小至 50 μm

1 keV 至 60 keV

應用：

• 一般真空物理學
• 輻射研究
• 地表轟炸
• 半導體研究
• 生物標本輻射
• X 射線生成
• 血漿激發
• 熒光研究
• 表面物理研究

功能/選項：

• 小光斑尺寸低至 50 μm
• 中等電流束至 5 mA
• 高達 10 mA 的高電流束
• 靜磁聚焦
• 靜磁光束整形（可選）
• 靜磁偏轉
• 脈沖能力
• 運行期間的內部對準
• 差速泵送

用戶可更換的點火裝置

能量范圍：1 keV 至 60 keV
光束電流：10 μA 至 5 mA
光斑尺寸：50 μm 至 10 mm
安裝：2.75 英寸（23/4）CF

Kimball Physics EGH-6210 電子槍及其匹配的 EGPS-6210 電源是一個完整的子系統，可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-6210 可應用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線產生和等離子體激發。

該槍使用單晶六硼化鑭 （LaB₆） 陰極產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 1 keV 到 60 keV，電流從 10 μA 到 5 mA。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。

噴槍的可調節光學元件可以適應不同的發散和一系列工作距離，適用于各種應用。磁性聚焦透鏡可以將光斑尺寸從 10 mm 變為 50 μm。磁性定心和可選的整形線圈提供額外的電子束控制，允許用戶偏轉和塑造電子束。整形通常會產生橢圓形梁，其兩個軸都可以獨立壓縮或延伸。靜磁聚焦透鏡和偏轉整形四極桿都能產生低像差的結果。此外，陰極到陽極的間距可在內部調節以改變磁長。

該噴槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。