美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量(最大 30 keV),EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]

美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量(最大 30 keV),EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]

Kimball Physics 是電子槍(束)系統的領先供應商,其設計適用于各種超高真空 (UHV) 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸,用于 X 射線生產、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束,用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。

操作范圍

  • 能量范圍:1 eV 至 100 keV
  • 光束電流范圍:1 nA 至 20 mA
  • 光斑尺寸范圍:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束)

性能

  • 束流穩定性:反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
  • 能量穩定性:±每小時 0.01%,全輸出時每 8 小時± 0.02%,以最大限度地減少色差

方便

  • 客戶可更換的點火裝置
  • 全運行期間的機械對中
  • 可存儲控件設置
  • 電腦遙控器/計量

運營能力

型號 #: EGH-8100 EGPS-8100

描述

高能量、大電流、泛光電子束

1 keV 至 100 keV

應用:

  • 一般真空研究
  • 輻射研究
  • 地表轟炸
  • 半導體研究
  • 生物標本照射
  • X 射線生成
  • 血漿激發
  • 熒光研究
  • 表面物理研究

功能/選項:

  • 光束電流高達 1 mA(20 mA 脈沖)
  • 脈沖能力
  • 大電流脈沖
  • 運行期間的內部對準
  • 用戶可更換的點火裝置
  • 提供計算機控制
  • 泛光光束

能量范圍:1 keV 至 100 keV
束流:10 nA 至 1 mA(脈沖束高達 20 mA
光斑尺寸:3 mm 至 100 mm
系統安裝法蘭6CF
渦輪泵安裝法蘭:4.5 英寸 (41/2) CF
規格 安裝法蘭:(3) 2.75 英寸 (23/4) CF

Kimball Physics EGH-8100 電子槍及其匹配的 EGPS-8100 電源是一個完整的子系統,可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8100 可應用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線生成和等離子體激發。

該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 (LaB6陰極產生高能量、大電流的電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 1 keV 到 100 keV,電流從 10 nA 到 1 mA(20 mA 脈沖)。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。

該噴槍具有可調節的陰極饋通組件,允許點火裝置相對于陽極進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。


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