美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量(最大 30 keV),EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]
Kimball Physics 是電子槍(束)系統的領先供應商,其設計適用于各種超高真空 (UHV) 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸,用于 X 射線生產、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束,用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍:1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍:1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束)
性能
- 束流穩定性:反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
- 能量穩定性:±每小時 0.01%,全輸出時每 8 小時± 0.02%,以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點火裝置
- 全運行期間的機械對中
- 可存儲控件設置
- 電腦遙控器/計量
運營能力
描述
高能量、大電流、泛光電子束
1 keV 至 100 keV
應用:
- 一般真空研究
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導體研究
- 生物標本照射
- X 射線生成
- 血漿激發
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項:
- 光束電流高達 1 mA(20 mA 脈沖)
- 脈沖能力
- 大電流脈沖
- 運行期間的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 提供計算機控制
- 泛光光束
能量范圍:1 keV 至 100 keV
束流:10 nA 至 1 mA(脈沖束高達 20 mA)
光斑尺寸:3 mm 至 100 mm
系統安裝法蘭:6CF
渦輪泵安裝法蘭:4.5 英寸 (41/2) CF
規格 安裝法蘭:(3) 2.75 英寸 (23/4) CF
Kimball Physics EGH-8100 電子槍及其匹配的 EGPS-8100 電源是一個完整的子系統,可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8100 可應用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線生成和等離子體激發。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 (LaB6) 陰極產生高能量、大電流的電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 1 keV 到 100 keV,電流從 10 nA 到 1 mA(20 mA 脈沖)。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
該噴槍具有可調節的陰極饋通組件,允許點火裝置相對于陽極進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。