美國Kimball Physics,電子槍系統,中等能量（最大 30 keV),EGH-8103 / EGPS-8103
Kimball Physics 是電子槍（束）系統的領先供應商，其設計適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產、焊接和 RHED 等應用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍：1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流穩定性：反饋穩定發射電流控制;優于每小時 ± 0.1%
- 能量穩定性：±每小時 0.01%，全輸出時每 8 小時± 0.02%，以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點火裝置
- 全運行期間的機械對中
- 可存儲控件設置
- 電腦遙控器/計量
運營能力
描述
可聚焦、高能電子束，小光斑尺寸選項可達 60 μm
10 keV 至 100 keV
應用：
- 一般真空物理學
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導體研究
- 生物標本照射
- X 射線生成
- 血漿激發
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項：
- 小光斑尺寸低至 60 μm
- 光束電流高達 1 mA
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運行期間的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 電腦 / 遙控器
- 差速泵送
能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA / 標準：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝
Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個完整的子系統，可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線產生和等離子體激發。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
該噴槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。
噴槍設計為源區域提供差動泵送，源室上有一個 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵。有三個 2.75 英寸 CF 法蘭，用于電離計和其他選項。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上，插入長度為零，即不會延伸到真空室中。
