美國Kimball Physics,電子槍系統,低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

美國Kimball Physics,電子槍系統,低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

Kimball Physics?電子槍（束流）系統通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統，該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。

我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10-11托。

根據系統的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅固耐用，真空度高達 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統。許多系統都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。

低能耗系統，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統規格以及每個低能電子槍系統的典型應用和功能的比較。

型號 #： EGA-1012 EGPS-1012

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應用：

  • 表面物理研究
  • 真空物理實驗
  • 電荷中和
  • 電子解吸
  • 表面清理
  • 熒光粉測試
  • 電離實驗
  • 半導體加工

功能/選項：

  • 光束電流高達 2mA
  • Feedback Stabilized Emission Current
  • 用戶可更換的點火裝置
  • UHV 兼容 / 可烘烤
  • 電腦 / 遙控器
  • 光束脈沖選項

能量范圍：5 eV 至 1k eV
光束電流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無聚焦能力）
安裝：2.75“ CF
特點/選項：泛光光束、脈沖、雙網格

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理和需要低能量高束流的加工應用。它是一個完整的子系統，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發散度都是可獨立調節的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產生均勻的泛光光束。這種設計允許產生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術。電子槍可在高達 350°C 的溫度下烘烤，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。

標準陰極是一個大電流、堅固的釔涂層圓盤 （Y2O3).陰極在寒冷時不會因反復暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關的函數。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長達數百小時，甚至超過一千小時。


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