美國Kimball Physics,電子槍系統,低能耗（最大 5 keV),EGL-2022 / EGPS-2022
Kimball Physics?電子槍（束流）系統通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統，該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。
許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。
我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10-11托。
根據系統的不同，可以使用各種陰極選項，包括：
Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統。許多系統都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。
低能耗系統，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。
下表提供了電子槍系統規格以及每個低能電子槍系統的典型應用和功能的比較。
描述
能量掃描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的電子束
50 eV 至 5 keV
應用：
- 表面物理研究
- 電離實驗
- 電荷中和
功能/選項：
能量范圍：50 eV 至 5 keV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 10 mm
安裝：2.75“CF
特點/選項：用于能量掃描、偏轉、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦
Kimball Physics EGL-2022 電子槍及其配套的 EGPS-2022 電源可應用于各種表面物理、電離、電荷中和和其他真空物理研究。它是一個完整的子系統，隨時可以連接到用戶的真空系統并啟動。
光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內獨立調節。能量從 50 eV 到 5 keV 不等，束流從 1 nA 到 100 μA。通過使用多級和計算機設計的電子變焦鏡頭，在能量的兩個數量級變化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。電子槍使用單電位陰極產生低能量擴散光束。
槍設計可以包括一個正偏置的加速度網格，以增強發射和準直光束。通常對此網格單元施加負電位，以準直光束、抑制發射并切斷光束。
全程采用 UHV 技術。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 最多 10-5torr 用于標準 Ta 盤陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無需電纜。
