Kimball Physics?電子槍（束流）系統通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統，該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以使用可選的 Labview 進行控制^TM計算機接口。

我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10^-11托。

根據系統的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

1. 1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10^-7托爾）
   2. 釔涂層銥片 （Y₂O₃銥，堅固耐用，真空度高達 10^-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
   3. 鉭盤陰極
   4. 單晶六硼化鑭?（LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托爾）

Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統。許多系統都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。

低能耗系統，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統規格以及每個低能電子槍系統的典型應用和功能的比較。

型號 #： ELG-2 EGPS-1022

描述

能量掃描：恒定束流和近似恒定的光斑尺寸

新的更低能量范圍，可提高分辨率

1 eV 至 2000 eV

應用：

• 表面物理研究
• 電子刺激解吸
• 逆光電子發射
• 電離實驗
• 電荷中和

功能/選項：

• 能量范圍廣
• 極低能量
• Constant Beam Current
• 恒定光斑大小
• 變焦鏡頭對焦
• 可拆卸噴槍
• 高速脈沖
• 偏轉、柵格化
• 電腦/遙控器

能量范圍：1 eV 至 2 keV
光束電流：1 nA 至 10 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 5 mm
安裝：2.75 英寸（23/4CF，可拆卸選項
）特點/選項：用于能量掃描、偏轉、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦

Kimball Physics ELG-2 電子槍及其配套的 EGPS-1022 電源旨在用于電子刺激解吸研究、二次電子發射系數測量研究、表面物理和其他真空物理研究。它是一個完整的子系統，隨時可以連接到用戶的真空系統并啟動。

光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內獨立調節。能量在 1 eV 到 2000 eV 之間變化，包括低范圍，以提高最低能量下的分辨率。通過使用多級和計算機設計的電子變焦鏡頭，在能量的兩個數量級變化中保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。該槍可以在 2 cm 的工作距離和 10 eV 的范圍內向大約 1 mm 的光斑提供 1 μA 的電流。電子槍使用單電位耐火陰極產生低能量擴散光束。

全程采用 UHV 技術。該噴槍可以在 10 級真空中運行^-11torr 最多 10^-5torr 用于標準 Ta 盤陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65^oC 除非被刪除。