美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),FRA-2X1-2 / EGPS-1011

美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),FRA-2X1-2 / EGPS-1011

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)低能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

型號 #： FRA-2X1-2 EGPS-1011

描述

來自致密源的廣角低能電子束

5 eV 至 1000 eV

應(yīng)用：

  • 電荷中和
  • 表面物理研究
  • 電離實(shí)驗(yàn)
  • 表面清理

功能/選項(xiàng)：

  • 均勻泛光光束
  • 緊湊型設(shè)計(jì)（直徑 13 mm x 長度 17 mm）
  • 可變安裝配置
  • 低能量下的中等電流
  • 可重建組件
  • 脈沖選項(xiàng)

能量范圍：5 eV 至 1 keV
光束電流：1 nA 至 400 μA
光斑尺寸：20 mm 至 50 mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF 或未安裝
特性/選項(xiàng)：泛光光束、可變安裝配置、脈沖

Kimball Physics FRA-2X1-2 電子槍及其匹配的 EGPS-101 電源旨在用于各種 UHV 表面物理、電荷中和和加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。

FRA-2X1-2 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。陰極專為低能量擴(kuò)散而設(shè)計(jì)。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。FRA-2X1-2 可以在低至 5 eV 的能量下產(chǎn)生適度的束流。它可以在 5 eV 時(shí)提供 50 μA 的最大光束電流，在 1000 eV 下提供 400 μA 的最大光束電流。

FRA-2X1-2 低能電子洪射槍采用平面三極管設(shè)計(jì)。加速網(wǎng)格增強(qiáng)了低能量下的束流。由于施加到柵極的正電位（相對于陰極為 0 至 +100 V），可能在此網(wǎng)格上產(chǎn)生的二次電子無法離開電子槍。


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