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美國Kimball Physics,電子槍系統,高能量（最大 100 keV）,EGH-6002 / EGPS-6002
Kimball Physics?電子槍（束流）系統通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統，該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。
許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。
我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10-11托。根據系統的不同，可以使用各種陰極選項，包括：
Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統。許多系統都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。
高能系統，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。
下表提供了電子槍系統規格以及每個高能電子槍系統的典型應用和功能的比較。
高能電子槍系統 （< 100 keV）
描述
可聚焦小光斑尺寸、高能電子束
1 keV 至 50 keV
應用：
- 一般真空物理學
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導體研究
- 生物標本照射
- X 射線生成
- 血漿激發
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項：
- 中等束流
- 光斑尺寸小
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運行時的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝
- UHV 技術 / 可烘烤
- 電腦 / 遙控器
能量范圍：1 keV 至 50 keV
束流：10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm
安裝：4.5“ CF 或 6.0”CF
Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個完整的子系統，可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導體研究到二次電子發射研究的許多不同的應用。
該槍可以產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標準配置。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
噴槍的可調節光學元件可以適應不同的發散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內部調節以改變磁長。
該噴槍具有可調節的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。當噴槍在全電壓下運行并打開光束時，可以實時完成這種對準。點火裝置彈藥筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，甚至無需從真空室中取出噴槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。
