美國Kimball Physics,電子槍系統,高能量(最大 100 keV),EGH-8105 / EGPS-8105
Kimball Physics?電子槍(束流)系統通常包括一個匹配的電源,以提供完整的子系統,該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。
許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節,并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。
我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV(超高真空),最高可達 10-11托。根據系統的不同,可以使用各種陰極選項,包括:
Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統,我們將其武斷地描述為低能量(高達 5 keV)、中等能量(高達 30 keV)和高能量(高達 100 keV)系統。許多系統都是從定制項目中誕生的,這仍然是我們關注的很大一部分。
高能系統,能量范圍為 1 keV 至 100 keV,電流范圍為 1 nA 至 2 mA,光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。
下表提供了電子槍系統規格以及每個高能電子槍系統的典型應用和功能的比較。
高能電子槍系統 (< 100 keV)
描述
可聚焦泛光高能電子束
1 keV 至 100 keV
應用:
- 一般真空物理學
- 航天器材料測試
- 特高壓充電
- 表面物理學
功能/選項:
- 均勻泛光光束
- 光束清洗可實現均勻的光斑尺寸
- 靜電聚焦
- 儀表端口 (2 x 1.33”)
- 運行期間的內部對準
- 用戶可更換的點火裝置
- 6“ CF 法蘭安裝
- UHV 技術和可烘烤
- 電腦 / 遙控器
- LabVIEW™ 計算機 / 編程
- 磁偏轉
- 脈沖、光柵
能量范圍:1 keV 至 100 keV
束流:50 nA 至 100 μA
光斑尺寸:10 mm 至 500+ mm
安裝:6.0“ CF
Kimball Physics EGH-8105 電子槍及其匹配的 EGPS-8105 電源是一個完整的子系統,可連接到用戶的真空系統并打開。它可以在廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8105 是一款高功率、可聚焦的泛光槍,用于航天器材料測試和其他表面物理和一般真空物理應用。
這是一種高能、可聚焦的泛光電子束系統,其中束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節。可以實現 1 keV 至 100 keV 的能量和從皮安 (pA) 到毫安 (mA) 的電流。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
噴槍的可調節光學元件可以適應不同的發散和不同的工作距離。提供磁束清洗選項,可顯著提高光束均勻性。靜電聚焦透鏡可控制泛光光束光斑尺寸,通常為數十厘米。然而,作為泛洪式噴槍,光斑大小也部分取決于網格、陽極和工作距離。
該噴槍具有可調節的陰極饋通組件,允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。當噴槍在全電壓下運行并打開光束時,可以實時完成這種對準。點火裝置彈藥筒(包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔)可由用戶更換,無需從真空室中取出噴槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。