美國(guó)Kimball Physics,離子槍系統(tǒng),柵格化,IMG-4212–IGPS-3212
Kimball Physics 離子槍系統(tǒng)或離子源用于表面物理、空間物理、真空物理、電荷中和、檢測(cè)校準(zhǔn)、二次離子質(zhì)譜和 MBE 離子注入。
- 能量范圍:10eV 至 20 keV
- 光束電流范圍:1 nA 至 2 μA
- 光斑尺寸范圍:500 μm 至 25 mm
多面性
- 靈活的控制器:獨(dú)立的光纖控制和計(jì)量功能,如離子能量、源、電子能量、場(chǎng)控制、提取、聚焦、X – Y 偏轉(zhuǎn)和電子電流控制。
- 堿金屬離子源的選擇允許不同的離子種類。
性能
- 束流穩(wěn)定性:對(duì)于堿金屬源,使用發(fā)射電流控制時(shí)每小時(shí) ±1.0%,或在沒(méi)有 ECC 的情況下預(yù)熱后每小時(shí) ±10%。
- 能量穩(wěn)定性:±每小時(shí) 0.01%,±滿負(fù)荷時(shí)每 8 小時(shí) 0.02%。
運(yùn)營(yíng)能力
型號(hào) #: IMG-4212-IGPS-3212
描述
能量范圍:1 keV 至 20 keV
束流:1 nA 至 2 μA
光斑尺寸:500 μm 至 25 mm
工作距離:100 mm 至 1000 mm
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