美國Kimball Physics,離子槍系統(tǒng), 脈沖,IGS-4 / IGPS-2014
Kimball Physics 離子槍系統(tǒng)或離子源用于表面物理、空間物理、真空物理、電荷中和、檢測校準(zhǔn)、二次離子質(zhì)譜和 MBE 離子注入。
操作范圍
- 能量范圍：10eV 至 20 keV
- 光束電流范圍：1 nA 至 2 μA
- 光斑尺寸范圍：500 μm 至 25 mm
多面性
- 靈活的控制器：獨立的光纖控制和計量功能，如離子能量、源、電子能量、場控制、提取、聚焦、X – Y 偏轉(zhuǎn)和電子電流控制。
- 堿金屬離子源的選擇允許不同的離子種類。
性能
- 束流穩(wěn)定性：對于堿金屬源，使用發(fā)射電流控制時每小時 ±1.0%，或在沒有 ECC 的情況下預(yù)熱后每小時 ±10%。
- 能量穩(wěn)定性：±每小時 0.01%，±滿負(fù)荷時每 8 小時 0.02%。
運營能力
- 快速電容光束或雙網(wǎng)格脈沖
- 偏轉(zhuǎn) / 光柵
- 槍式法拉第杯
型號 #： IGS-4 IGPS-2014
描述
能量范圍：50 eV 至 5 keV
束流：1 nA 至 2 μA
光斑尺寸：<1 mm 至 20 mm
工作距離：10 mm 至 200 mm
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