EFG-7 / EGPS-1017
能量范圍：?10 eV 至 1500 eV
光束電流/光斑尺寸：?1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?1mm 至 100mm
安裝：?2?CF，可拆卸選項
特性/選項：窄角光束或泛光光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈動
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特性/選項：窄角光束或泛光光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈動